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Die vorliegende Erfindung ermöglicht die Herstellung optischer Fluoridkristall-Elemente für Wellenlängen < 200 nm aus ausgewählten Fluorid-Einkristallen mit einer bestimmten Qualität. DOLLAR A Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der optischen Qualität eines Fluorid-Einkristalls. DOLLAR A Das Verfahren gemäß dieser Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß es die nachfolgenden Schritte aufweist: DOLLAR A (a) Bestrahlen mindestens eines Volumenelements des Fluorid-Einkristalls entlang mindestens einer gegebenen Famielie von Kristallebenen mit einem harten Röntgenstrahl, um ein Beugungsbild im Transmissionsmodus der harten Röntgenstrahlen über dieses mindestens eine Volumenelement entlang dieser mindestens einen Familie von Kristallebenen zu erhalten, DOLLAR A (b) Untersuchen des in Schritt (a) erhaltenen Bildes und DOLLAR A (c) Berechnen der Mosaizität des mindestens einen Volumenelements entlang der mindestens einen Familie von Kristallebenen aus der Untersuchung von Schritt (b).
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