| 发明名称 |
PROCESSO DI ATTACCO A BASSA VELOCITA' DI RIMOZIONE NELLA FABBRICAZIONEDI DISPOSITIVI INTEGRATI A SEMICONDUTTORE, UTILIZZANTE UNA CAMERA ATTA |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
IT1316286(B1) |
申请公布日期 |
2003.04.10 |
| 申请号 |
IT2000MI00065 |
申请日期 |
2000.01.20 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
ZANOTTI LUCA |
| 分类号 |
C04B41/53;C04B41/91;C23C16/44;C23C16/509;H01L21/311 |
主分类号 |
C04B41/53 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
