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发明名称 Plasmabearbeitungsgerät
摘要
申请公布号 DE69626446(D1) 申请公布日期 2003.04.10
申请号 DE19966026446 申请日期 1996.06.14
申请人 SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD.;NEC CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 AKIMOTO,TAKESHI;KATAYAMA,KATSUO;KOMACHI,KYOUICHI;IIO,KOUICHI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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