从金属硅中除去硼的方法和装置

摘要

本发明提供了在制造太阳能电池用的硅时、可以比以往更迅速地除去硼的金属硅精炼方法。即，向熔融状态的金属硅液面上喷吹由添加了水蒸气的氩气构成的等离子流，除去该金属硅中含有的硼，此时在上述等离子流中进一步添加还原气体。适当调整水蒸气/还原气体的混合比率、气体喷吹角度和加热方法，可以更有效地除去硼。

主权项

1.一种从金属硅中去除硼的方法，其特征在于，该方法包括：在将金属硅熔融、去除金属硅中含有的硼时，对呈熔融状态的金属硅熔液喷吹混合气体，所述混合气体是在由1种或2种以上惰性气体组成的等离子流中添加水蒸气和还原气体而构成的；而且，从容纳熔融金属硅的精炼容器的底部，向该熔液中吹入已在惰性气体中添加了水蒸气的气体。