将已成形的基片与压印模具分开的设备与方法

摘要

本发明涉及将已成形的基片与压印模具分开的设备和方法，本发明的目的是保证可靠脱模和基本上排除损坏昂贵构件的可能性。一个可闭合的室由两个可相对移动的作为压印模具(3)或可成形的基片(5)的托座的室部件(1、2)组成，此室包含一基片固定件(16)，在室闭合时它在压印区外部将基片(5)固定在其托座上，因此在室开启时可实现将基片(5)与压印模具(3)脱开。此设备和方法可应用于生产微型系统工程的构件。

主权项

1.将已成形的基片(5)与压印模具(3)分开的设备，它有：一个可闭合的室的一对可相对移动的室部件(1，2)，其中第一个室部件(1)用作压印模具(3)的托座，第二个室部件(2)用作可成形的基片(5)的托座；和一基片固定件(16)，它在压印区外部将基片(5)固定就位，其特征为：上述基片(5)固定在其托座上，当上述两个室部件(1，2)之间的间距增大时，利用上述基片固定件(16)将基片(5)与压印模具(3)脱开。