利用垂直断层成像的检查方法

摘要

一种利用垂直断层成像的检查方法。首先获取穿过所关注的目标的多个水平断层图像；再从代表水平断层图像的数据中划定所关注的垂直区域；然后在落入所关注的垂直区域内的水平断层图像数据的基础上构建垂直断层图像；最后分析垂直断层图像数据从而检测出缺陷。另外，提供一种检测BGA接合点中的缺陷的方法，该方法包括定位该接合点的中心，该方法还包括测量穿过接合点中心的多个直径和应用准则来把测得的直径与预期的直径相比较。

主权项

1.一种利用垂直断层成像的检查方法，包括步骤：获取对应于多个穿过所关注的目标的水平断层图像的数据；从该数据中划定所关注的垂直区域；和在落入到所关注的垂直区域中的数据的基础上构建垂直断层图像。