发明名称 用于纹理制作的装置与方法
摘要 纳米尺寸纹理平板印刷术的相关装置,此装置包括一第一主部(1),带有一第一原则上平面的表面(2a),以及一第二主部(3),带有第二原则上平面的表面(9a),所述第一和第二表面彼此对置并配置得原则上彼此相对平行,二者之间具有一可调节的间隔,而所述第一和第二表面配置得分别构成一个用于一基底(5)和一模板(10)的支承,或者反之亦然。按照本发明,所述第二主部还包括一凹腔(16),用于容放一种介质,以及用于调节所述介质压力的装置,一由一挠性膜片(9)构成的所述凹腔的壁板,其背离凹腔(6)的一面构成所述第二表面(9a)。本发明还涉及一种使用此装置的方法。
申请公布号 CN1409832A 申请公布日期 2003.04.09
申请号 CN00816989.6 申请日期 2000.12.04
申请人 奥布杜卡特公司 发明人 巴贝克·海达里
分类号 G03F7/00;B41M1/06;B82B1/00;B82B3/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 王景刚;李瑞海
主权项 1.一种用于纳米尺寸纹理的平板印刷的装置,此装置包括一带有一第一基本上平的表面(2a)的第一主部(1),以及一带有一第二基本上平的表面(9a)的第二主部(3),所述第一表面和第二表面彼此对置并配置得原则上彼此平行,它们之间具有一可调节的间隙,而所述第一和第二表面配置得分别构成一基底(5)和一模板(10)或者相反的支承,其特征在于,所述第二主部(3)还包括一用于一种介质的凹腔(6),以及一用于调节所述介质压力的装置,所述凹腔的一壁由一挠性膜片(9)构成,其背离凹腔(6)的一面构成所述第二表面(9a)。
地址 瑞典马尔默