发明名称 |
用于纹理制作的装置与方法 |
摘要 |
纳米尺寸纹理平板印刷术的相关装置,此装置包括一第一主部(1),带有一第一原则上平面的表面(2a),以及一第二主部(3),带有第二原则上平面的表面(9a),所述第一和第二表面彼此对置并配置得原则上彼此相对平行,二者之间具有一可调节的间隔,而所述第一和第二表面配置得分别构成一个用于一基底(5)和一模板(10)的支承,或者反之亦然。按照本发明,所述第二主部还包括一凹腔(16),用于容放一种介质,以及用于调节所述介质压力的装置,一由一挠性膜片(9)构成的所述凹腔的壁板,其背离凹腔(6)的一面构成所述第二表面(9a)。本发明还涉及一种使用此装置的方法。 |
申请公布号 |
CN1409832A |
申请公布日期 |
2003.04.09 |
申请号 |
CN00816989.6 |
申请日期 |
2000.12.04 |
申请人 |
奥布杜卡特公司 |
发明人 |
巴贝克·海达里 |
分类号 |
G03F7/00;B41M1/06;B82B1/00;B82B3/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
王景刚;李瑞海 |
主权项 |
1.一种用于纳米尺寸纹理的平板印刷的装置,此装置包括一带有一第一基本上平的表面(2a)的第一主部(1),以及一带有一第二基本上平的表面(9a)的第二主部(3),所述第一表面和第二表面彼此对置并配置得原则上彼此平行,它们之间具有一可调节的间隙,而所述第一和第二表面配置得分别构成一基底(5)和一模板(10)或者相反的支承,其特征在于,所述第二主部(3)还包括一用于一种介质的凹腔(6),以及一用于调节所述介质压力的装置,所述凹腔的一壁由一挠性膜片(9)构成,其背离凹腔(6)的一面构成所述第二表面(9a)。 |
地址 |
瑞典马尔默 |