| 发明名称 | 静电吸盘,基座及其制造方法 | ||
| 摘要 | 静电吸盘，或基座，包括嵌入在陶瓷主体中的电极和/或加热元件，且具有从电极引出的电触点。电极或加热元件可以采用，例如，钼，来构成，以及吸盘主体可由氮化铝构成。电触点包括一定成分比的第一种金属和第二种金属，其中第二种金属基本上都熔融于第一种金属，从而防止第一和第二种金属间化合物的产生。电触点的一个例子包括约99.8重量百分比的钼和约0.2重量百分比的镍。另外，电极可由按一定成分比的第一种金属和第二种金属所构成，其中第二种金属基本上都熔融于第一种金属，从而防止第一和第二种金属间化合物的产生。电触点可由诸如钼的金属构成或可由第一和第二种金属的合金构成，其中第二种金属基本上都熔融于第一种金属。电触点可以在制造静电吸盘所采用的热压步骤过程中利用预混合的金属粉末先驱体的致密工艺在原位上制成。 | ||
| 申请公布号 | CN1409870A | 申请公布日期 | 2003.04.09 |
| 申请号 | CN00816927.6 | 申请日期 | 2000.12.05 |
| 申请人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 发明人 | R·迪瓦卡尔;M·赞迪 |
| 分类号 | H01L21/68;H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 李家麟 |
| 主权项 | 1.一种静电吸盘包括：a)吸盘主体；b)电极，所述的电极嵌入在吸盘主体中；和c)从电极引出的电触点；其中，电极和电触点都包括第一种金属，以及至少在电触点或电极中有一个包括第一种金属和第二种金属的合金，所述的第二种金属基本上都熔融于第一种金属。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||