薄膜晶体管阵列基板、液晶显示装置和该基板的制造方法

摘要

本发明的目的是提供一种能确实地修复点缺陷的薄膜晶体管阵列及其制造方法。该阵列具备跨接于相邻的2个象素上的点缺陷修复图形和在此点缺陷修复图形上介入栅极绝缘膜或者存储电容电介质膜形成的岛，对于已被识别为点缺陷的象素，先用激光切断其象素的晶体管部分，之后在象素电极的一部分和相邻象素的一部分上照射激光，通过介入点缺陷修复图形使相邻象素的象素电极彼此间短路来进行修复。

主权项

1.一种薄膜晶体管阵列基板，其特征是：具备有：在透明绝缘基板上形成的并由金属薄膜构成的兼备有栅极电极的栅极布线；通过介入栅极绝缘膜在该栅极布线上设置的半导体层；与该半导体层一起构成半导体器件的兼备有源极电极的源极布线和漏极电极；由设于上述半导体器件的近傍的透明导电膜构成的象素电极；由与上述栅极布线相同的金属材料构成且配置成跨在相邻的两个象素上的第1金属图形；在上述第1金属图形的上边通过介入上述栅极绝缘膜而配置的用与源极布线漏极电极相同的金属材料构成的第2金属图形；用激光照射使上述第1金属图形和上述第2金属图形熔融而连接起来的办法把相邻的两个象素电极连接起来以修复象素缺陷。