薄膜热敏电阻及其阻值调节方法

摘要

在具有阻值调节用金属性图案的切割部的薄膜热敏电阻中，首先，通过调节第二热敏膜的膜厚来粗调阻值，然后通过用激光照射切削切割部来细调阻值。这样，可制造精确调节了阻值的薄膜热敏电阻。

主权项

1.薄膜热敏电阻，包括：绝缘衬底；绝缘涂层，形成在所述绝缘衬底的主平面上；一对梳状电极，相对地形成在绝缘涂层上；一对引出电极，与所述梳状电极对相连；金属性图案，从所述的一对引出电极中的至少一个上伸出，用于阻值调节，该金属性图案具有用于切削的切割部；热敏膜，覆盖在所述的梳状电极对之上以及切削用切割部的一部分之上；以及保护膜，覆盖在所述热敏膜上。