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发明名称
摘要
申请公布号 JP2003513444(A) 申请公布日期 2003.04.08
申请号 JP20010534192 申请日期 2000.10.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/318;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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