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发明名称
摘要
申请公布号 JP2003513342(A) 申请公布日期 2003.04.08
申请号 JP20010535216 申请日期 2000.11.01
申请人 发明人
分类号 B08B7/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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