| 发明名称 |
Device and method for optically scanning a substrate disk |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002340742(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.07 |
| 申请号 |
AU20020340742 |
申请日期 |
2002.09.20 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
DETLEF GERHARD;DETLEF RIEGER;JOHANNES LECHNER |
| 分类号 |
G01N21/95;G02B26/10;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;G01N21/956;G02B26/08;G02B17/00;G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/95 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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