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发明名称
摘要
申请公布号	JP3393736(B2)	申请公布日期	2003.04.07
申请号	JP19950143735	申请日期	1995.06.09
申请人		发明人
分类号	C23C2/26;(IPC1-7):C23C2/26	主分类号	C23C2/26
代理机构		代理人
主权项
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