发明名称
摘要
申请公布号 JP3393750(B2) 申请公布日期 2003.04.07
申请号 JP19960058048 申请日期 1996.03.14
申请人 发明人
分类号 C23C2/02;C23C2/12;C23C2/14;C23C2/40;(IPC1-7):C23C2/12 主分类号 C23C2/02
代理机构 代理人
主权项
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