| 发明名称 |
INVERTER FOR QUADRILATERAL SUBSTRATE AND UNIT FOR CLEANING QUADRILATERAL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003100844(A) |
申请公布日期 |
2003.04.04 |
| 申请号 |
JP20010296393 |
申请日期 |
2001.09.27 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
TORII HIROOMI;AIZAWA HIDEO;KOJIMA HIROSHI;YAGI YUJI |
| 分类号 |
B08B1/02;B08B1/04;B65G49/06;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B08B1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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