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发明名称 PROCEDE DE NETTOYAGE PAR VOIE HUMIDE DE TRANCHES SEMICONDUCTEURS COMPORTANT UNE STRUCTURE DAMASCENE
摘要
申请公布号 FR2816527(B3) 申请公布日期 2003.04.04
申请号 FR20000014624 申请日期 2000.11.14
申请人 GIRARDIE LIONEL 发明人 GIRARDIE LIONEL
分类号 B08B3/12;C11D1/00;C11D1/22;C11D3/00;C11D3/02;C11D3/20;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/321;(IPC1-7):B08B3/08;B08B3/10;B01J19/08;H01L21/00 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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