摘要 |
Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient dazu, bewegliche Bauelemente zum Transport aufnehmen und/oder zur Bereitstellung, z. B. an einem herzustellenden Gerät, absetzen zu können, wobei eine Meßvorrichtung auf verläßliche Weise die Anwensenheit des beweglichen Bauelements an einer Öffnung eines Rohrelements messen kann. Die Meßvorrichtung mißt dabei auf Basis einer Temperaturmessung den Gasdurchfluß durch das Rohrelement, was wiederum direkt mit der Anwesenheit bzw. Nichtanwesenheit eines Bauelements an der Öffnung in Beziehung gesetzt werden kann. Die erfindungsgemäße Vorrichtung besitzt den Vorteil, daß die Meßvorrichtung auch bei kleinen Rohrelementen ein gut auszuwertendes, großes Meßsignal liefert.
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