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发明名称 VORRICHTUNG UND SYSTEM ZUM LICHTBOGENIONENPLATTIEREN
摘要
申请公布号 DE69432165(D1) 申请公布日期 2003.04.03
申请号 DE19946032165 申请日期 1994.03.15
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBESEIKOSHO, KOBE 发明人 HANAGURI, KOJI;TSUJI, KUNIHIKO;NOMURA, HOMARE;TAMAGAKI, HIROSHI;KAWAGUCHI, HIROSHI;SHIMOJIMA, KATSUHIKO;FUJII, HIROFUMI;KIDO, TOSHIYA;SUZUKI, TAKESHI;INOUE, YOICHI
分类号 C23C14/32;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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