发明名称 Halbleitervorrichtung mit Leseverstärker und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要 Es wird eine Halbleitervorrichtung geschaffen, die die Verringerung der Abtastgeschwindigkeiten mehrerer Leseverstärker wegen ihrer Ansteuerungen vermeidet. In der Halbleitervorrichtung ist an einer Hauptoberfläche einer Epitaxieschicht (3) selektiv eine P-Wannenschicht (6) angeordnet, die P-Störstellen enthält. Es ist eine N-Bodenschicht (7), die N-Störstellen enthält, angeordnet, die mit einer Unterseite der P-Wannenschicht (6) in Kontakt steht. Eine P-Wannenschicht (2) ist mit einer solchen Dicke angeordnet, daß sie mit der N-Bodenschicht (7) in Kontakt steht, so daß die N-Bodenschicht (7) und die P-Wannenschicht (2) einen PN-Übergang bilden. Ferner sind an der Hauptoberfläche der Epitaxieschicht (3) selektiv eine N-Wannenschicht (4), die N-Störstellen enthält, und eine P-Wannenschicht (5), die P-Störstellen enthält, angeordnet, so daß die P-Wannenschicht (6) zwischen ihnen liegt.
申请公布号 DE10239233(A1) 申请公布日期 2003.04.03
申请号 DE20021039233 申请日期 2002.08.27
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 KUNIKIYO, TATSUYA;HAMAMOTO, TAKESHI;TANAKA, YOSHINORI
分类号 H01L21/8242;G11C7/06;G11C11/4091;H01L27/108;H03K19/00;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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