| 摘要 |
Die Vorrichtung sieht im bekannten Aufbau eines Mikroskops die Anordnung eines zusätzlichen drehbar gelagerten transparenten optischen Bauelementes, im Bereich eines parallelen Beleuchtungsstrahlenganges, vor einem im Strahlengang vorhandenen Hauptstrahlteilers vor. DOLLAR A Nach dem Verfahren werden die für die Fokuskontrolle erforderlichen Bilder bei einem um den Winkel +alpha bzw. -alpha geneigten transparenten optischen Bauelement aufgenommen. Die Bilder werden in Richtung der Strahlverschiebung durch pixelweises Verschieben auf Korrelation der Bildinhalte überprüft. Die ermittelte Verschiebung DELTAs bei optimaler Korrelation stellt ein Maß für die momentane Fokussierung bzw. Defokussierung dar. DOLLAR A Die vorgeschlagene Lösung zur Fokuskontrolle ist mit geringfügigen Anpassungen für alle Mikroskope, die mit digital bildgebenden Verfahren und Anordnungen ausgerüstet sind, anwendbar. In konfokalen Mikroskopen ist die Anwendbarkeit auf Defokussierungen einem Bereich von ca. 5 bis 8 x lambda/NA·2· begrenzt.
|
