发明名称 |
硅烷组合物、硅膜的形成方法和太阳能电池的制造方法 |
摘要 |
一种用于制造太阳能电池半导体薄膜的硅烷组合物,所述硅烷组合物含有:用式Si<SUB>n</SUB>R<SUB>m</SUB>所示的聚硅烷化合物(式Si<SUB>n</SUB>R<SUB>m</SUB>中,n为3以上的整数,m为n~(2n+2)的整数,m个R互相独立地为氢原子、烷基、苯基或卤素原子,当m个R全部为氢原子、且m=2n时,n为7以上的整数)和(B)从环戊硅烷、环己硅烷和甲硅烷基环戊硅烷中选择的至少一种硅烷化合物。 |
申请公布号 |
CN1407018A |
申请公布日期 |
2003.04.02 |
申请号 |
CN02129797.5 |
申请日期 |
2002.08.14 |
申请人 |
捷时雅株式会社 |
发明人 |
志保浩司;加藤仁史 |
分类号 |
C08L83/16;C09D183/16;H01L31/0216 |
主分类号 |
C08L83/16 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
魏金玺;庞立志 |
主权项 |
1.一种硅烷组合物,其特征在于,含有:(A)用式SinRm所示的聚硅烷化合物和(B)从环戊硅烷、环己硅烷和甲硅烷基环戊硅烷中选择的至少一种硅烷化合物,其中,式SinRm中,n为3以上的整数,m为n~(2n+2)的整数,m个R互相独立地为氢原子、烷基、苯基或卤素原子,当m个R全部为氢原子、且m=2n时,n为7以上的整数。 |
地址 |
日本东京都 |