| 发明名称 | 检测设备和器件制造方法 | ||
| 摘要 | 一种检测设备，用于检测样本表面上精细几何图形，其中辐射波束照射到不同于大气的差异环境中放置的样本，并利用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自传感器的检测信号到处理装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1407334A | 申请公布日期 | 2003.04.02 |
| 申请号 | CN02141674.5 | 申请日期 | 2002.09.10 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所;株式会社东芝 | 发明人 | 畠山雅规;村上武司;佐竹徹;野路伸治;长滨一郎太;山崎裕一郎 |
| 分类号 | G01N23/18 | 主分类号 | G01N23/18 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 蒋世迅 |
| 主权项 | 1.一种检测设备，用于检测样本表面上的精细几何图形，包括：照射装置，用于照射辐射波束到不同于大气的差异环境中放置的样本；传感器；引导装置，用于引导从样本上射出的二次辐射到传感器；处理装置，用于处理从传感器输出的检测信号；和传输装置，用于发射来自传感器的检测信号到处理装置，其中传感器放置在差异环境之内，处理装置放置在差异环境之外。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||