Improvements in or relating to susceptors suitable for use in chemical vapour deposition devices,申请号EP19940303709-传众专利搜索

发明名称	Improvements in or relating to susceptors suitable for use in chemical vapour deposition devices
摘要
申请公布号	EP0628644(B1)	申请公布日期	2003.04.02
申请号	EP19940303709	申请日期	1994.05.24
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	ARUGA, MICHIO;OHKURA, ATSUNOBU;SAITO, AKIHIKO;SUZUKI, KENJI;TAGUCHI, KENICHI;DUBOIS, DALE ROBERT;MORRISON, ALAN FERRIS
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;(IPC1-7):C23C16/44;C23C14/50	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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