| 发明名称 |
NOVEL NON-CRYSTALLINE OXIDES FOR USE IN MICROELECTRONIC, OPTICAL, AND OTHER APPLICATIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1297565(A2) |
申请公布日期 |
2003.04.02 |
| 申请号 |
EP20010948549 |
申请日期 |
2001.06.21 |
| 申请人 |
NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY |
发明人 |
LUCOVSKY, GERALD;PARSONS, GREGORY, N. |
| 分类号 |
C01B13/14;C01F17/00;C01G25/02;C01G27/02;C01G35/00;C23C16/40;H01L21/314;H01L21/316;H01L29/51;H01L29/78;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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