分立双室离子镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种离子镀膜装置，主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室的配气通过控制台切换交替工作。与同等生产效率的单室离子镀膜机相比，其制造成本低20－30％，镀膜制品的生产成本下降50％多且质量好。

主权项

1、分立双室离子镀膜机，主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽真空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室的配气通过控制台切换。