发明名称 |
Method of forming capacitors in a semiconductor device |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2337633(B) |
申请公布日期 |
2003.04.02 |
申请号 |
GB19980010797 |
申请日期 |
1998.05.20 |
申请人 |
* MITEL CORPORATION;* ZARLINK SEMICONDUCTOR INC.;* DALSA SEMICONDUCTOR INC |
发明人 |
LUC * OUELLET;STEPHANE * BLAIN |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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