发明名称 Method of forming capacitors in a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2337633(B) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 GB19980010797 申请日期 1998.05.20
申请人 * MITEL CORPORATION;* ZARLINK SEMICONDUCTOR INC.;* DALSA SEMICONDUCTOR INC 发明人 LUC * OUELLET;STEPHANE * BLAIN
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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