X射线涂层厚度仪

摘要

目的是提供一种能够同时测量在由含铜的一层或多层组成的材料上的包含铜的锡合金镀层的镀层厚度和铜浓度的X射线涂层厚度仪，利用获得的X射线光谱信息中的衍射X射线产生的峰值强度确定锡合金镀层的铜浓度。

主权项

1.一种X射线涂层厚度仪，包括：X射线发生器，用于产生主X射线；准直器，用于允许主X射线的部分荧光流通过并且只允许被测样品的非常小的面积受到X射线辐照；能量分布X射线检测器，用于检测被测样品的二次X射线；以及计算电路，用于获取检测器的信号并计算每种能量的强度；其中当被测样品是在由含铜的一层或多层组成的材料上的包含铜的锡合金镀层时，利用通过计算电路获得的X射线光谱信息中的衍射X射线产生的峰值强度确定锡合金镀层的铜浓度，并且利用由X射线荧光产生的峰值强度确定锡合金镀层的厚度。