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经营范围
发明名称
SELECTED ADJUSTMENT OF DROPWISE CONDENSATION ON ION IMPLANTED SURFACES
摘要
申请公布号
EP1021585(B1)
申请公布日期
2003.04.02
申请号
EP19980952691
申请日期
1998.10.02
申请人
ESYTEC ENERGIE- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
发明人
LEIPERTZ, ALFRED;CHOI, KYONG-HEE
分类号
C23C14/48;F28F13/04;F28F13/18;(IPC1-7):C23C14/48
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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