发明名称 SELECTED ADJUSTMENT OF DROPWISE CONDENSATION ON ION IMPLANTED SURFACES
摘要
申请公布号 EP1021585(B1) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 EP19980952691 申请日期 1998.10.02
申请人 ESYTEC ENERGIE- UND SYSTEMTECHNIK GMBH 发明人 LEIPERTZ, ALFRED;CHOI, KYONG-HEE
分类号 C23C14/48;F28F13/04;F28F13/18;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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