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发明名称
摘要
申请公布号	JP2003512741(A)	申请公布日期	2003.04.02
申请号	JP20010532262	申请日期	2000.10.12
申请人		发明人
分类号	C09K11/08;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D11/00;C23G1/06;C23G1/10;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/308;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/308	主分类号	C09K11/08
代理机构		代理人
主权项
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