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发明名称
摘要
申请公布号 JP2003512732(A) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 JP20010531207 申请日期 2000.10.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;G11C16/04;H01L21/82;H01L27/115;H01L29/06;H01L29/788;H01L29/792;H03K19/173;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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