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发明名称 GAS DISCHARGE LASER LONG LIFE ELECTRODES
摘要
申请公布号 EP1297594(A1) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 EP20010937186 申请日期 2001.04.24
申请人 CYMER, INC. 发明人 FLEUROV VLADIMIR, B.;CATES, MICHAEL, C.;DU'LYEA, MICHAEL;FOMENKOV, IGOR, V.;GAIDARENKO, DMITRI V.;HUEBER, JEAN-MARC;MORTON, RICHARD, G.;ONKELS, ECKEHARD, D.;SHANNON, ROBERT, A.;WINNICK, ROSS, H.
分类号 G03F7/20;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/041;H01S3/0979;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/038 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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