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发明名称 Method of processing substrate
摘要
申请公布号 EP0930376(B1) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 EP19980123756 申请日期 1998.12.14
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 SUZUKI, NOBUMASA
分类号 H01L21/302;B01J19/08;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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