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发明名称 Substrate processing system
摘要
申请公布号 EP1098353(A3) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 EP20000309686 申请日期 2000.11.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 TEPMAN, AVI
分类号 B65G49/06;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
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