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发明名称 IMPROVED LOW MASS WAFER SUPPORT SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1036406(B1) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 EP19980956476 申请日期 1998.11.02
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 GOODMAN, MATTHEW, G.;RAAIJMAKERS, IVO;JACOBS, LOREN, R.;VAN BILSEN, FRANCISCUS, B., M.;MEYER, MICHAEL, J.;BARRETT, ERIC, ALAN
分类号 H01L21/683;C23C16/458;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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