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申请公布号 JP2003512738(A) 申请公布日期 2003.04.02
申请号 JP20010532151 申请日期 2000.08.25
申请人 发明人
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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