| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PERFORMING OPTICAL MEASUREMENTS OF LAYERS AND SURFACE PROPERTIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1212580(A4) |
申请公布日期 |
2003.04.02 |
| 申请号 |
EP20000966730 |
申请日期 |
2000.09.15 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
ROSENTHAL, PETER, A.;XU, JIAZHAN |
| 分类号 |
G01N21/35;G01B11/06;G01N21/21;G01N21/27;G01N21/33;H01L21/66;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01N21/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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