有机电激发光之图素定义层之显影装置

摘要

本创作提供一种显影装置，系用来针对一有机电激发光之图素定义层进行一显影制程，其包含有一显影单元，用来提供一显影液以使其均匀分布于有机电激发光显示面板表面上，一清洗单元，用来喷洒一清洗溶液以移除残留之显影液，一吹乾单元，用来吹乾有机电激发光显示面板，一传送单元，以连续传送的方式将有机电激发光显示面板依序传送至显影单元、清洗单元以及吹乾单元中，以及一控制单元，用来控制传送单元的传送顺序与传送时间，以精确地控制有机电激发光显示面板于每一个单元中的处理时间。此外，显影装置可以设置复数个前后连接之显影单元，依据维修需要以及显影制程要求来弹性选择使用显影单元。另外，显影装置可以将清洗单元设置成一第一段清洗单元以及一第二段清洗单元，先利用第一段清洗单元来喷洒一循环溶液，以初步移除所残留之显影液，再利用第二段清洗单元来喷洒一新鲜清洗溶液，以完全移除显影液。

主权项

1.一种显影装置(developing apparatus),系用来对一有机电激发光(organic light emitting diode,OLED)之图素定义层进行一显影制程;该显影装置包含有:一显影单元,系用来提供一显影液,以使该显影液均匀分布在一有机电激发光显示面板之表面上,并持续一设定显影时间;一清洗单元,系与该显影单元相连接,用来喷洒一清洗溶液,以移除该有机电激发光显示面板表面上所残留之显影液;一吹乾单元,系与该清洗单元相连接,用来吹乾该有机电激发光显示面板表面上所残留之清洗溶液;一传送单元,系分别与该显影单元、该清洗单元以及该吹乾单元相连接,用来传送该有机电激发光显示面板至每一单元中;以及一控制单元,系用来控制该传送单元的传送顺序与传送时间,以精确地控制该有机电激发光显示面板于每一个单元中的处理时间;其中该传送单元系以连续传送的方式,将该有机电激发光显示面板依序传送至该显影单元、该清洗单元以及该吹乾单元中,以完成该显影制程,因此该显影装置可以精确地控制该预定之显影时间,并有效缩短该显影制程的时程,与减少人力操作成本。2.如专利申请范围第1项所述之显影装置,其中该显影装置另包含有一下载单元,系与该吹乾单元相连接,可以装载该完成显影处理之显示面板,或提供一缓冲区使该显示面板基板直接进入下游的光阻剥离模组。3.如专利申请范围第1项所述之显影装置,其中该显影单元系以振摇该有机电激发光显示面板的方式,使该显影液均匀地分布在该有机电激发光显示面板之表面上,并以一喷压控制器控制显影液在喷嘴之喷压,以获得最佳的显影均匀度。4.如专利申请范围第3项所述之显影装置,其中该显影单元另包含有至少一风刀,系设于该显影单元之末端,用来刮除该有机电激发光显示面板之表面上多余的显影液。5.如专利申请范围第3项所述之显影装置,其中该显影单元包含有一显影液回收单元,系用来回收该使用过之显影液并提供重复利用,以及一显影液温度加热控制器,系用来控制显影处理的温度条件。6.如专利申请范围第1项所述之显影装置,其中该吹乾单元系利用风刀吹乾的方式,将该有机电激发光显示面板表面上所残留之清洗溶液移除。7.如专利申请范围第1项所述之显影装置,其中该显影装置所进行之该显影制程,系用来定义出该有机电激发光显示面板之发光区图案(pattern)与面积。8.一种显影装置(developing apparatus),系用来对一有机电激发光(organic light emitting diode,OLED)之图素定义层进行一显影制程;该显影装置包含有:复数个前后连接之显影单元,每一显影单元系用来提供一显影液,以使该显影液均匀分布在一有机电激发光显示面板之表面上,并持续一预定时间;一清洗单元,系与该最后侧之显影单元相连接,用来喷洒一清洗溶液,以移除该有机电激发光显示面板表面上所残留之显影液;一吹乾单元,系与该清洗单元相连接,用来吹乾该有机电激发光显示面板表面上所残留之清洗溶液;一传送单元,系分别与该复数个显影单元、该清洗单元以及该吹乾单元相连接,并以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板依序传送至该复数个显影单元、该清洗单元以及该吹乾单元中;以及一控制单元,系用来控制该传送单元的传送方式与传送时间,以精确地控制该有机电激发光显示面板于每一个单元中的处理时间;其中该显影装置可以依据维修需要以及显影制程要求来弹性选择使用该复数个显影单元,并藉由该控制单元来控制该选择使用之显影单元的处理时间,以精确地控制该有机电激发光显示面板的显影时间。9.如专利申请范围第8项所述之显影装置,其中该显影装置另包含有一下载单元,系与该吹乾单元相连接,可以装载该完成显影处理之显示面板,或提供一缓冲区,使该显示面板基板直接进入下游的光阻剥离模组。10.如专利申请范围第8项所述之显影装置,其中该显影单元系以振摇该有机电激发光显示面板的方式,使该显影液均匀地分布在该有机电激发光显示面板之表面上,并以一喷压控制器控制显影液在喷嘴之喷压,以获得最佳的显影均匀度。11.如专利申请范围第10项所述之显影装置,其中每一显影单元另包含有至少一风刀,设于该显影单元之末端,系用来吹除该有机电激发光显示面板之表面上多余之显影液。12.如专利申请范围第10项所述之显影装置,其中该显影单元装置另包含有一显影液回收单元,用来回收并提供重复利用使用过之显影液,以及一显影液温度加热控制器,系用来控制显影处理的温度条件。13.如专利申请范围第8项所述之显影装置,其中该吹乾单元系利用风刀吹乾的方式,将该有机电激发光显示面板表面上所残留之清洗溶液移除。14.如专利申请范围第8项所述之显影装置,其中该显影装置所进行之该显影制程,系用来定义出该有机电激发光显示面板之发光区图案(pattern)与面积。15.一种显影装置(developing apparatus),系用来对一有机电激发光(organiclight emitting diode,OLED)之图素定义层进行一显影制程;该显影装置包含有:一显影单元,系用来提供一显影液,以使该显影液均匀分布在一有机电激发光显示面板之表面上,并持续一预定显影时间;一第一段清洗单元,系与该显影单元相连接,用来喷洒一循环溶液,以初步移除该有机电激发光显示面板表面上所残留之显影液;一第二段清洗单元,系与该第一段清洗单元相连接,用来喷洒一新鲜清洗溶液,以完全移除该有机电激发光显示面板表面上所残留之显影液;一吹乾单元,系与该第二段清洗单元相连接,用来吹乾该有机电激发光显示面板表面上所残留之溶液;一传送单元,系分别与该显影单元、该第一段清洗单元、该第二段清洗单元以及该吹乾单元相连接,并以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板依序传送至该显影单元、该第一段清洗单元、该第二段清洗单元以及该吹乾单元中;以及一控制单元,系用来控制该传送单元的传送方式与传送时间,以精确地控制该有机电激发光显示面板于每一个单元中的处理时间;其中于该第二段清洗单元中使用过之该新鲜清洗溶液,系循环至该第一段清洗单元中,用来作为该循环溶液。16.如专利申请范围第15项所述之显影装置,其中该显影装置另包含有一下载单元,系与该吹乾单元相连接,可以装载该完成显影处理之显示面板,或提供一缓冲区,使该显示面板基板直接进入下游的光阻剥离模组。17.如专利申请范围第15项所述之显影装置,其中该显影单元系以振摇该有机电激发光显示面板的方式,使该显影液均匀地分布在该有机电激发光显示面板之表面上,并以一喷压控制器控制显影液在喷嘴之喷压,以获得最佳的显影均匀度。18.如专利申请范围第17项所述之显影装置,其中该显影单元另包含有至少一风刀,设于该显影单元之末端,系用来吹除该有机电激发光显示面板之表面上多余之显影液。19.如专利申请范围第17所述之显影装置,其中该显影单元另包含有一显影液回收单元,用来回收并提供重复利用使用过之显影液,以及一显影液温度加热控制器,用来控制显影处理的温度条件。20.如专利申请范围第15项所述之显影装置,其中该吹乾单元系利用风刀吹乾的方式,将该有机电激发光显示面板表面上所残留之清洗溶液移除。21.如专利申请范围第15项所述之显影装置,其中该显影装置所进行之该显影制程,系用来定义出该有机电激发光显示面板之发光区图案(pattern)与面积。图式简单说明:第一图系本创作实施例1之显影装置之方块示意图。第二图系第一图所示之显影单元之方块示意图。第三图系本创作实施例2之显影装置之方块示意图。第四图系本创作实施例3之显影装置之方块示意图。第五图系本创作实施例4之显影装置之方块示意图。