| 主权项 |
1.一种金属膜片阀,是包括以下装置的金属膜片阀:本体,其于连通流入通路与流出通路的阀室底面设置阀座;金属膜片,其为了保持阀室气密,设于本体,中央部向上膨出;驱动装置,其使金属膜片就座于阀座上,同时,自行恢复原状,自阀座离开;以及环状槽,其形成于阀室下方,与流出通路连通;其特征在于,使圆形流出通路的直径大于前述环状槽的槽宽,使环状槽与流出通路的交叉部份的有效截面积大于流出通路的横截面积。2.如申请专利范围第1项所述之金属膜片阀,其中流出通路相对于环状槽的深度方向,与其成一直线状配置。3.如申请专利范围第1项所述之金属膜片阀,其中流出通路相对于环状槽的深度方向与其仅成锐角倾斜配置。4.如申请专利范围第2或3项所述之金属膜片阀,其中连接于环状槽的流出通路的前端部成半球状形态。5.如申请专利范围第4项之金属膜片阀,其中环状槽的底面位于成半球状形态的流出通路的前端部的中心附近。图式简单说明:图1是显示本发明金属膜片阀的纵剖侧视图。图2是放大显示本体的纵剖侧视图。图3是图2的斜视图。图4是显示习知金属膜片阀的纵剖侧视图。图5是习知金属膜片阀的本体的平面图。 |
