发明名称 |
Refurbishing spent sputtering targets |
摘要 |
Spent sputtering targets are refurbished by filling the depleted region of the target with new sputter material using a hot isostatic pressing or HIP'ing technique. |
申请公布号 |
AU2002333640(A1) |
申请公布日期 |
2003.04.01 |
申请号 |
AU20020333640 |
申请日期 |
2002.09.16 |
申请人 |
HERAEUS, INC. |
发明人 |
MICHAEL SANDLIN |
分类号 |
B22F7/06;C23C14/34;G11B5/851;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
B22F7/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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