发明名称
摘要
申请公布号 JP3392245(B2) 申请公布日期 2003.03.31
申请号 JP19940336893 申请日期 1994.12.27
申请人 发明人
分类号 C30B17/00;C30B27/00;H01L21/208;(IPC1-7):C30B17/00 主分类号 C30B17/00
代理机构 代理人
主权项
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