发明名称 Submikrometergenauigkeits-Kantendetektor
摘要 Ein Kantendetektor mit Submikrometergenauigkeit. Der Kantendetektor weist zwei optische Einzelmodusfasern mit einem optischen Weg zwischen denselben auf. Eine Faser ist mit einer Laserlichtquelle gekoppelt und erzeugt einen Lichtstrahl. Die andere Faser ist mit einem optischen Leistungsdetektor gekoppelt. Die optische Leistung, die den optischen Leistungsdetektor erreicht, wird dadurch bestimmt, wieviel des Lichtstrahls durch ein Objekt blockiert ist. Daher kann die Position der Kante des Objekts aus der optischen Leistung, die durch den Detektor gemessen wird, bestimmt werden. Die Kante eines Objekts kann gemäß der optischen Leistung, die durch den Detektor gemessen wird, automatisch positioniert sein.
申请公布号 DE10238562(A1) 申请公布日期 2003.03.27
申请号 DE20021038562 申请日期 2002.08.22
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE) 发明人 MEDBERRY, JOHN BERNARD;STEKETEE, EDWARD;ADAMS, JAMES D.
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01B11/03;G01V8/16;(IPC1-7):G01B11/24;G01D5/34;G01N21/95 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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