VERFAHREN ZUM INTERFEROMETRISCHEN MESSEN VON POSITIONEN, POSITIONSÄNDERUNGEN UND DARAUS ABGELEITETER PHYSIKALISCHER GRÖSSEN,申请号DE19975009362-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUM INTERFEROMETRISCHEN MESSEN VON POSITIONEN, POSITIONSÄNDERUNGEN UND DARAUS ABGELEITETER PHYSIKALISCHER GRÖSSEN
摘要
申请公布号	DE59709362(D1)	申请公布日期	2003.03.27
申请号	DE19975009362	申请日期	1997.11.06
申请人	ROBERT BOSCH GMBH	发明人	DRABAREK, PAWEL
分类号	G01B9/02;G01D5/26;(IPC1-7):G01B9/02	主分类号	G01B9/02
代理机构		代理人
主权项
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