发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Polieren der Aussenumfangsabschnitte eines plattenförmigen Werkstücks
摘要 Ein Paar von Kantenpolierelementen (13a, 13b), die jeweils eine ausgespart gekrümmte Arbeitsfläche (22) aufweisen, sind an beiden Seiten in Durchmesserrichtung eines kreisförmig plattenförmigen Werkstücks (1) angeordnet, welches durch eine Klemmeinrichtung (12) gehalten wird und gedreht werden kann, wobei die Achsen der jeweiligen Polierelemente relativ zu der Achse (L) des Werkstücks (1) derart geneigt sind, dass die Arbeitsfläche (22) eines Kantenpolierelementes (13a) in Kontakt mit dem Kantenbereich (2a) an der Vorderseite des Werkstücks (1) tritt, während die Arbeitsfläche (22) des anderen Kantenpolierelementes (13b) in Kontakt mit dem Kantenbereich (2b) an der Rückseite des Werkstücks (1) tritt, wodurch die beiden Kantenbereiche (2a, 2b) poliert werden.
申请公布号 DE10153813(A1) 申请公布日期 2003.03.27
申请号 DE20011053813 申请日期 2001.11.05
申请人 SPEEDFAM CO., LTD. 发明人 HAKOMORI, SHUNJI;MIZUNO, NORIAKI;NISHI, HIROSHI
分类号 B24B9/00;B24B9/06;B24B27/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/02 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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