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发明名称 TECHNIQUE FOR DEPOSITING SILICON DIOXIDE FROM SILANE AND OXYGEN
摘要
申请公布号 US3607378(A) 申请公布日期 1971.09.21
申请号 USD3607378 申请日期 1969.10.27
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 EDWARD M. RUGGIERO
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/316;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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