| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TROCKNEN VON SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59807266(D1) |
申请公布日期 |
2003.03.27 |
| 申请号 |
DE19985007266 |
申请日期 |
1998.07.10 |
| 申请人 |
STEAG MICROTECH GMBH |
发明人 |
WOLKE, KLAUS;WEBER, MARTIN |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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