Antireflexionsunterbeschichtung-Farbfilterprozeß zum Herstellen von Halbleiter-Bildsensoren

摘要

Es werden ein Bildsensorsystem und Verfahren zum Herstellen eines solchen Systems beschrieben. Das Bildsensorsystem umfaßt ein Farbfilterarray, das durch einen Farbfilterprozeß, der eine Antireflexionsunterbeschichtung beinhaltet, gebildet wird. Die Antireflexionsunterbeschichtung bildet eine Schutzschicht, die freiliegende Bereiche der aktiven Bilderfassungsvorrichtungsstruktur während einer Bildung des Farbfilterarrays schützt und dadurch die immanenten Durchlässigkeitscharakteristika der aktiven Bilderfassungsvorrichtungsstruktur beibehält. Die Antireflexionsunterbeschichtung verringert ferner eine Verschlechterung von Metallstrukturen (z. B. Verbindungsanschlußflächen) und Pixelrändern an der freiliegenden Oberfläche der aktiven Bilderfassungsvorrichtungsstruktur. Überdies liefert die Antireflexionsunterbeschichtung eine zuverlässige haftende Oberfläche für das Farbfilterarray, wobei ein Ablösen der Farbfilterarrayresiststrukturen im wesentlichen ausgeschaltet wird. Bei manchen Ausführungsbeispielen verbessert die Antireflexionsunterbeschichtung ferner die optischen Durchlässigkeitscharakteristika einer oder mehrerer Farben des Farbfilterarrays.