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发明名称 Plasmabehandlungsgerät
摘要
申请公布号 DE69719108(D1) 申请公布日期 2003.03.27
申请号 DE19976019108 申请日期 1997.04.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 TOMOYASU, MASAYUKI
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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