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Gegenstand der Erfindung ist eine Siliciumscheibe mit einer polierten Vorderseite mit einer epitaktischen Beschichtung und einer polierten Rückseite, die sich durch einen SFQR¶max¶-Wert von gleich oder kleiner 0,10 mum (26 mm x 8 mm; 99%) auszeichnet. DOLLAR A Gegenstand der Erfindung ist ebenso ein Verfahren zur Herstellung von derartigen Siliciumscheiben durch Aufsägen eines Einkristalls, Ausführen eines Abrasivschrittes, gleichzeitiges Polieren einer Vorderseite und einer Rückseite von mindestens drei Siliciumscheiben und Aufbringen einer epitaktischen Beschichtung, das gekennzeichnet ist durch folgende gleichzeitig erfüllte Bedingungen: DOLLAR A (a) Die Siliciumscheiben besitzen vor dem gleichzeitigen Polieren eine konkave Dickenverteilung, wobei die Zentrumsdicke 1 mum bis 10 mum niedriger ist als die Randdicke und dieser Dickenunterschied innerhalb einer Polierfahrt um gleich oder kleiner 3 mum differiert; DOLLAR A (b) die mittlere Dicke der Siliciumscheiben vor dem gleichzeitigen Polieren differiert innerhalb einer Polierfahrt um gleich oder kleiner 3 mum; und DOLLAR A (c) die Dicke der beim gleichzeitigen Polieren eingesetzten Läuferscheiben ist um 1 mum bis 5 mum niedriger bemessen als die Dicke der fertig polierten Siliciumscheiben.
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