发明名称 |
Optomechanische Mikrovorrichtung und ihre optomechanischen Anwendung in einem Mikro-Strahlablenker |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69714334(T2) |
申请公布日期 |
2003.03.27 |
申请号 |
DE19976014334T |
申请日期 |
1997.04.16 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS |
发明人 |
LABEYE, PIERRE |
分类号 |
G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08;G02B26/10 |
主分类号 |
G02B26/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|